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本期將從底層光電元件出發,解析矽光子晶片如何利用 III-V 族、純矽與氮化矽 (SiN) 三種材料的異質整合,完美分工發光、傳輸與調變任務 。接著,一窺 TSMC 針對光電共封裝 (CPO) 時代所建立的標準化 PDK 元件庫 ,如何協助客戶降低開發門檻。最後,將拆解 Nvidia…

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本期將從底層光電元件出發,解析矽光子晶片如何利用 III-V 族、純矽與氮化矽 (SiN) 三種材料的異質整合,完美分工發光、傳輸與調變任務 。接著,一窺 TSMC 針對光電共封裝 (CPO) 時代所建立的標準化 PDK 元件庫 ,如何協助客戶降低開發門檻。最後,將拆解 Nvidia…

  • Source: Ted Yu
  • Published: 2026-03-19T08:17:11+08:00
  • URL: https://ytyuted.substack.com/p/ep37-tsmc-pdk-nvidia EP37. 矽光子解析: 從 TSMC PDK 到 Nvidia 黑科技 - Ted Yu

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EP37. 矽光子解析: 從 TSMC PDK 到 Nvidia 黑科技

Ted Yu's avatar

Mar 19, 2026

本期將從底層光電元件出發,解析矽光子晶片如何利用 III-V 族、純矽與氮化矽 (SiN) 三種材料的異質整合,完美分工發光、傳輸與調變任務 。接著,一窺 TSMC 針對光電共封裝 (CPO) 時代所建立的標準化 PDK 元件庫 ,如何協助客戶降低開發門檻。最後,將拆解 Nvidia 如何透過精妙的「硬軟體協同設計」,用平價的單模光纖 (SMF) 替換掉組裝極度耗時又昂貴的保偏光纖 (PMF),一舉將封裝成本降低 2.7 倍的黑科技 。

1. Background of Silicon Photonic(SiPh)

1.1. 4 Important Elements

矽光子 (Silicon Photonics, SiPh)強大之處,在於它利用了極度成熟的 CMOS 製程技術,將圖中這4 個重要功能元件的「最佳材料」,完美整合在同一個晶片平台上。

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source: TSRI

四大核心元件

Light Source (光源)

材料限制與解法:因為矽無法有效發光,這裡必須依賴III-V 族半導體 (如 InP, GaAs)。

整合方式:這是目前 SiPh 與 CPO (Co-Packaged Optics) 封裝技術中最具挑戰性的一環。通常會採用外部雷射源 (ELS, External Laser Source) 透過光纖引入,或是透過異質整合 (Heterogeneous Integration), 將 III-V 雷射晶粒,直接鍵合到矽光子晶片上。

Light Transport (光傳輸與被動元件)

功能:負責引導、分配、聚合與分離光訊號,包含光波導 (Waveguide)、耦合器 (Coupler)、分波多工/解多工器 (Mux/Demux)。

材料與優勢:這是矽 (Silicon)的絕對主場。利用SOI (Silicon-On-Insulator) 基板,矽與二氧化矽之間具有極高的折射率對比 (High Refractive Index Contrast; 3.5 vs. 1.45),這使得光可以被緊緊鎖在波導內,實現極小的彎曲半徑,大幅縮小晶片面積並提高元件密度。

Signal Modulation (訊號調變)

材料限制與解法:最理想的調變材料是圖中提到的薄膜鈮酸鋰 (Thin Film Lithium Niobate,TFLN) 或聚合物,因為它們有極佳的線性電光效應 (Pockels effect)。純矽沒有這種效應,因此 SiPh 主要是利用自由載子色散效應 (Free-Carrier Dispersion)——透過改變 PN 結中的電子與電洞濃度,來改變矽的折射率,進而達到調變光相位的目的。

Detection (光訊號偵測)

功能:在接收端,將光訊號重新轉換回電訊號 (O/E Conversion)。核心元件是光偵測器 (Photodetector, PD)。

材料限制與解法:矽對於光通訊常用的波段 (1310nm 與 1550nm) 是透明的,無法有效吸收光子。因此,業界標準做法是在矽光晶片上磊晶生長鍺 (Germanium, Ge),或是利用 III-V 族材料。鍺的能隙較小,能夠完美吸收這些波段的光並產生光電流,且能與 CMOS 製程相容。

1.2. 3 Important Material

矽光子晶片主要有3 種關鍵材料,並透過它們的物理特性差異來分工合作。異質整合 (Heterogeneous Integration)」的核心精神:沒有一種單一材料能完美勝任所有光電任務,必須截長補短。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

III-V 族半導體 (InP , GaAs ) —— 「發光與主動放大的引擎」

物理特性:直接能隙 (Direct Bandgap)

從能帶圖來看,電子在導帶的最低點與價帶的最高點處於相同的動量 (k) 位置。

當電子躍遷時,只需釋放或吸收光子就能完成,能量轉換效率極高。

能隙大小:約 0.7 到 1.4 eV。

角色 (Role):作為主動介質 (Active medium),是製造雷射光源 (Lasers)與半導體光放大器 (SOAs) 的唯一選擇。

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矽 (Silicon, Si) —— 「高密度佈線與調變的骨幹」

物理特性:間接能隙 (Indirect Bandgap)

電子在導帶與價帶的極值處於不同的動量位置。

電子躍遷時,除了光子,還必須有「聲子 (Phonon,即晶格震盪)」參與來補償動量差。這種三體碰撞機率極低,導致矽極難發光,大部分能量會轉化為熱能。

能隙大小:約 1.12 eV (對 1310nm/1550nm 光波透明,適合傳輸)。

角色 (Role):主要負責光波導 (Waveguide devices) 與光調變器。它能利用成熟的 CMOS 製程實現極大規模的微縮整合。

氮化矽 (Silicon Nitride, SiN) —— 「高功率與低損耗的通道」

物理特性:寬間接能隙 (Wide Indirect Bandgap)

與矽同為間接能隙,但擁有更大的能隙寬度。這使得 SiN 在傳輸極高功率的連續光 (CW laser) 時,不會像矽一樣容易觸發「雙光子吸收 (Two-Photon Absorption, TPA)」等非線性損耗效應。

能隙大小:高達約 5.0 eV。

角色 (Role):用於高功率的被動波導元件 (High-power passive waveguide devices),特別是需要處理外部大功率雷射導入晶片時的被動分光與傳輸。

關鍵物理特性比較 (為何能做到晶片級微縮?)

除了能隙特性決定了「誰負責發光、誰負責傳輸」,折射率對比 (Index Contrast)則是決定 SiPh 能否縮小到「晶片尺度 (Chip-scale)」的關鍵:

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

傳統石英光纖 (Silica fiber):

核心與外包覆層的折射率對比極低 (~0.01)。

光學元件在定義「折射率對比 (Index Contrast)」通常是核心 (Core) 與包覆層 (Cladding) 之間折射率的絕對差值 (Δn),而不是兩者相除的比例。

這導致光束的轉彎半徑非常大 (約 20 到 30 mm),只要稍微彎曲,光就會洩漏。因此傳統光學元件只能做到桌上型或機架等級 (cm2range)

高折射率對比平台 (SiN / Si / III-V on SOI):

這些材料相對於周圍的SiO2絕緣層,擁有極高的折射率對比(~0.5 到 2)。

這種「高折射率牆」能將光死死鎖在波導核心內。波導寬度可以縮小到約 0.5 μm (核心面積縮小 500 倍),且轉彎半徑可以大幅縮小到 2 到 6 μm。

結果:光路系統的覆蓋面積成功從公分等級縮小到微米等級 (μm2range),真正實現了「光電同封裝」的可能性。

總結來說,SiPh 的架構設計,就是在 SOI 基板上利用 Si 處理高密度佈線與調變,利用 SiN 處理高功率被動分光,並透過異質整合將 III-V 族晶粒貼合上來提供光源。

1.3. Si vs. SiN

在先進的光學封裝架構中,單靠純矽 (Si) 波導已經無法滿足所有需求,這正是氮化矽 (SiN)強勢崛起,成為 SiPh 平台不可或缺之「異質整合」材料的原因。

從元件物理到系統架構,Si 與 SiN 並非競爭關係,而是完美的互補。以下拆解兩者在 SiPh 平台上的特性對比與分工邏輯:

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

模態分佈 (Mode Profile) 與佈局面積

投影片左側的紫紅色光斑圖 (Mode profile) 揭示了兩者在「光束束縛力」上的差異,這直接影響了晶片尺寸與封裝難度。

Si (折射率 = 3.5 @1310nm):光斑被極度壓縮在微小的波導核心內。

優點:佈局面積極小 (Small Footprint)。轉彎半徑可以做到幾微米,極大化晶片上的元件密度。

缺點:因為光斑太小,要與外部光纖(光斑較大)進行邊緣耦合 (Edge coupling) 時非常困難,容易造成嚴重的耦合損耗。

SiN (折射率 = 2.0 @1310nm):光斑範圍較大,光場分布較為擴散。

優點:光斑尺寸更接近外部光纖,這讓邊緣耦合變得非常容易 (Easy)且支援寬頻。同時,較大的光斑降低了波導側壁粗糙度帶來的散射,使得SiN 擁有超低的傳輸損耗 (<0.23 dB/cm)。

缺點:轉彎半徑大,佔用晶片面積較大 (Large Footprint)。

功能性與穩定度對決

溫度敏感度 (Thermal Coefficient):矽的熱光係數 (1.8 x 10-4/K) 遠大於氮化矽 (0.2 x10-4/K)。這意味著 SiN 對溫度的變化極不敏感。SiN 被動元件(如MUX/DEMUX 陣列列導波柵 AWG)可以保持極佳的波長穩定度,不需要額外的加熱器 (Heater) 來做溫度補償,大幅節省系統功耗。

元件守備範圍 (Device Scope):

Si 負責「主動與高密度」:因為矽具有自由載子色散效應,可以做成光調變器 (Modulator) 與光偵測器 (搭配鍺),這是 SiN 做不到的。

SiN 負責「被動與低損耗」:Taper、MMI (多模干涉儀)、Cross (交叉波導) 等,全都是利用 SiN 打造的低損耗被動元件,它們是建構複雜光路的地基。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

Si270-SiN trans (TE) 是一個層間過渡元件,專門負責讓光訊號在矽 (Si) 與氮化矽 (SiN) 雙層波導之間平滑、垂直地轉換,並將介面反射與傳輸損耗降至極低的 0.069 dB 。

Si270:代表厚度 270 nm 的純矽 (Si) 波導

這個元件的左側寬邊接 Si(綠色),右側寬邊接 SiN(藍色);而兩者的窄邊(尖端)則是在中間重疊,利用這種「一邊放、一邊收」的漸變過渡機制(Adiabatic Transition),才能達成僅僅 0.069 dB 幾乎零損耗的光學轉換 !

能隙 (Bandgap) 決定的高功率耐受度

Si 與 SiN 最根本的物理差異:能隙大小。

Si (矽):能隙約 1.1 eV。當外部高功率連續雷射 (CW Laser) 打入純矽波導時,很容易觸發非線性光學效應,特別是雙光子吸收 (Two-Photon Absorption, TPA)與隨之而來的自由載子吸收 (Free-Carrier Absorption, FCA)。這會導致光能快速轉換成熱能。從投影片的紅色曲線可以看出,當輸入功率超過 21 dBm 左右,矽波導就會因為熱失控而「燒毀 (Burn-out)」,造成插入損耗 (IL) 瞬間飆升。

SiN (氮化矽):能隙高達約 5.0 eV。這種寬能隙特性幾乎免疫了 TPA 與 FCA 效應。投影片的藍色曲線顯示,即使輸入功率推升到 26.2 dBm,SiN 波導依然沒有損壞。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

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系統架構意義:

為了避免高溫影響雷射壽命,目前的 AI 伺服器與 CPO (共封裝光學) 架構強烈傾向使用外部雷射源 (ELS)並且共用光源。高功率的CW雷射光從外部引入晶片(1推多的應用),SiN 波導就是唯一能承受這種「光學洪流」的入口。

完美的雙層架構 (Dual-Layer Platform)

現代先進的 SiPh 晶片不會只用單一材料,而是採用SiN 與 Si 雙層波導疊加的製程設計: 高功率雷射從光纖進入晶片時,先由SiN 波導負責接收與分配(耐高功率、低耦合損耗);光訊號透過層間轉換 (如Si270-SiN trans,損耗僅0.069 dB) 垂直「下沉」到下方的Si 波導進行高速調變(小面積、主動元件)

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矽 (Si)雖然是半導體的主體,但它本身容易漏電、怕水、不耐高光功率,且有物理極限。而氮化矽 (SiN)就像是一件多功能的「鋼鐵衣」,完美彌補了矽的所有軟肋:

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沒有 SiN 這個無處不在的「最強輔助」,現代的 GAA 邏輯製程、數百層的 3D 記憶體,乃至於伺服器端最具潛力的光電共封裝 (CPO) 技術,都將難以實現跨世代的突破。

2. SiPH platform

2.1. Basic Functions

矽光子晶片(Photonic Integrated Circuit,PIC)內部的「功能方塊圖」如下。對於光學小晶片(Optical Chiplets)來說,最大的挑戰往往不是內部的光路怎麼走,而是光訊號如何從外部世界(光纖)順利且低損耗地進入或離開這顆晶片。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

光源輸入端 (雷射動力):維持極化純淨

路徑:外部雷射 ->保偏光纖 (PMF) -> 單極化光柵耦合器 (SPGC) -> 進入晶片

機制:晶片內的調變器對光極化非常敏感。因此必須先用PMF鎖定雷射的極化狀態,再透過SPGC將這道純淨的光導入晶片,作為發射端 (TX) 的「光載波動力」。

訊號輸出端 (TX 發射介面):對接外部網路

路徑:晶片內部 TX 訊號 -> 單極化光柵耦合器 (SPGC) -> 單模光纖 (SMF) -> 外部網路

機制:在晶片內部完成資料調變、已經帶有電訊號資訊的光波,會再次透過SPGC向上折射耦合,送入標準的單模光纖(SMF)中,向外傳輸給其他伺服器或機房。

訊號接收端 (RX 接收介面):破解極化旋轉

路徑:外部網路單模光纖(SMF) ->極化分離光柵耦合器 (PSGC)-> 進入晶片兩條波導

機制:從外部長距離傳送進來的光,極化方向會隨機旋轉(亂序)。PSGC的作用是將這束光「一分為二」(拆解成兩個垂直的極化分量(TE))並分別送入獨立波導,確保光訊號無論怎麼轉,都不會衰減或漏接。

核心處理區 (PIC 內部):光電轉換引擎

發射核心:調變器 (MRM/MZM) 負責將電訊號「刻印」到光載波上;旁邊的加熱器 (Heater) 則負責微調溫度,防止MRM波長飄移。

接收與路由核心:多模干涉儀 (MMI) 處理光束的分配與聚合,最後由光偵測器 (PD) 將光訊號重新轉譯回電訊號給系統。

選擇 PMF 與 SMF 的核心原因

PMF (保偏光纖) 負責「精準輸入」:用於連接外部雷射與晶片。因為晶片內部的光學元件對光的極化(偏振)方向極度挑剔,PMF能鎖定極化方向,確保光束以完美對齊的角度進入晶片,避免能量流失。

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SMF (單模光纖) 負責「長距通訊」:用於晶片與外部資料中心網路的傳輸 (TX/RX)。它是全球通用標準,具備極低損耗與低成本優勢。雖然光在裡面跑會隨機旋轉(失去極化狀態),但這可以交由接收端的專屬元件 (如PSGC) 來拆解還原。

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註: 雙折射就是指光在介質中前進時,不同方向(極化方向)的光感受到的折射率不同,導致前進速度產生差異的現象。

2.2. Modulator

2.2.1. Si 光電物理

矽本身其實是一個「光電特性有缺陷」的材料。它具有中心對稱的晶格結構,這意味著它完全沒有線性的電光效應(如波克耳效應 Pockels effect)。無法像操作薄膜鈮酸鋰(TFLN)那樣,單純加個電場就能瞬間改變它的折射率。

既然矽先天不足,工程師們便利用了它身為半導體的最大優勢——操控載子 (Carrier),也就是下圖所展示的機制:

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC核心機制:自由載子色散效應 (FCD)

純矽沒有天然的電光效應(無法直接用電場改變折射率)。工程師的解法是:藉由改變光通道中的「自由載子(電子與電洞)濃度」,來間接改變矽的折射率,進而推遲或提前光的相位。

元件運作原理:MOS 電容結構 (MOS-Capacitor)

圖中的結構等同於一個微型電容器。當施加電壓 (VG) 時,電子與電洞會大量「聚集 (Accumulate)」在中間絕緣層 (gate oxide) 的兩側。當雷射光穿過這個載子聚集區時,感受到的折射率改變了,光波就會產生相位變化。

實務上的優缺點

優勢:100% 相容於現有的 CMOS 半導體製程,能夠利用成熟的晶圓廠產線大規模製造,成本極具優勢。

劣勢:因為依賴電容的充放電,會產生「RC 延遲」,導致調變速度遇到物理瓶頸;此外,大量載子聚集也會不小心吸收掉一部分的光子,造成額外的「光學損耗」。單波 200Gbps (200G/λ) 被業界普遍視為純矽 (Si) 調變器的「極限天花板」。

2.2.2. MZM vs. MRM

純矽調變器因為只能改變光的「相位」,必須依賴特殊的幾何結構來將相位變化轉換成光訊號的「明暗(振幅)」。其中最核心的兩大調變器陣營:馬赫-曾德 (MZM)與微環 (MRM)。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

馬赫-曾德架構 (MZI / MZM):求穩定的大型高速公路

被動元件 (MZI 干涉儀):將光分流到兩條臂再匯合,利用「干涉」原理決定光的增強或抵消,常用作寬頻濾波器。

主動調變 (MZM 調變器):加電壓改變單臂相位來控制明暗。

優缺點:優點是極度穩定、頻寬大且不怕溫度變化;缺點是體積龐大(毫米級),佔用大量晶片面積。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

微環架構 (MRR / MRM):求極致密度的小型交流道

被動元件 (MRR 共振腔):利用微小圓環的周長,精準「共振(吸收)」特定波長的光,是極佳的窄頻濾波器。

主動調變 (MRM 調變器):加電壓讓共振波長稍微偏移,藉此控制該波長的光能否通過。

優缺點:優點是體積極小(微米級),且天生具備波長篩選能力,完美支援高密度 DWDM(Dense Wavelength Division Multiplexing,密集波槽多工);缺點是對溫度與製程誤差極度敏感,必須額外耗電來加熱控溫。

MZM體積大但抗溫飄,適合長距單波高速傳輸;MRM體積小且自帶波長篩選,適合未來 AI 需要的極高密度多波長短距互連。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

2.2.3. MRR(單微環) vs. DMRR(雙微環)

在DWDM(密集波槽多工) 系統中,為了在單一光纖內塞入更多波道,微環元件的「光譜形狀」是成敗關鍵。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC單微環 (MRR):銳利的 V 型尖刀

光譜特性:呈現極度尖銳的「V 字型」吸收谷

DWDM應用痛點:

高串擾:V 型底部雖尖,但兩側邊緣平緩(滾降慢),波道靠太近時容易干擾鄰居。

極度不耐溫漂:谷底太窄,只要晶片溫度或外部雷射稍微飄移 0.1 度,訊號就會瞬間滑出谷底而造成嚴重失真。

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雙微環 (DMRR):穩定的 U 型平頂帳篷

光譜特性:透過兩個微環相互耦合,將 V 型撐開成邊緣陡峭的「U 字型平頂 (Flat-Top)」。

DWDM應用優勢:

極低串擾:邊緣如懸崖般陡峭,讓波道可以切得非常緊密而不互相干擾,極大化頻寬密度。

高容忍度:寬闊的平頂提供了極佳的緩衝區。即使發生輕微的溫度或波長飄移,訊號依然能穩穩落在平頂內,大幅降低出錯率。

實務代價:佔地面積變大,且必須同時、精準地控制「兩個」微型加熱器 (Heater) 才能維持完美的平頂,控制難度大幅攀升。

2.3. Photo Detector

矽光子 (SiPh) 接收端 (RX) 的心臟——光偵測器 (Photodetector, PD)。因為矽對光通訊波段 (1310nm/1550nm) 是完全透明的,無法吸收光子。因此必須在矽波導上方「磊晶生長鍺 (Germanium, Ge)」來作為吸收層。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

吸收材料 (鍺 Ge):由於矽無法吸收光通訊波段 (如 1310nm) 的光子,必須在矽晶片上疊加一層能隙較小的「鍺」。鍺吸收光子後,會激發出電子與電洞。

運作機制 (逆向偏壓 P-I-N):元件操作在逆向偏壓下,會產生強大的內部電場。這個電場能瞬間將剛產生的電子與電洞往兩邊拉開,形成系統所需的「光電流」。

轉換效率 (響應度 Responsivity):這是評估 PD 效能的關鍵指標(光電流與輸入光功率的比值)。圖中顯示其響應度高達0.95 A/W,代表光轉電的效率極佳。

高頻瓶頸 (空間電荷效應 Space-Charge Effect):在極高光功率與高速運作下,瞬間爆量產生的載子會自發形成一個「反向電場」,抵銷掉原有的驅動電場。這會導致載子移動變慢、訊號失真,是目前 PD 頻寬提升的主要物理限制

2.4. 光學介面: GC vs. EC

矽光子封裝中最核心的難題:「光該如何進出晶片裡?」

TSMC COUPE先進封裝架構下,光柵耦合器 (Grating Coupler, GC)與邊緣耦合器 (Edge Coupler, EC)是兩種完全不同的光學介面策略,各自在「光學效能」與「量產便利性」之間拔河。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

GC (光柵耦合器):由上往下打,贏在「好測試、好封裝」

耦合方式:出平面耦合 (Out-of-plane)。光纖從晶片的「上方」以特定角度斜插,利用晶片表面的微小光柵結構,將光「折射」進下方的波導。

優勢 (量產與封裝的寵兒):

晶圓級測試 (Wafer-Level Testing):這是 GC 最大的殺手鐧。因為光是從上面打進去的,所以晶片還沒切割、還是一整片晶圓時,探針台就可以直接從上面打光進行測試,大幅降低不良品的封裝成本。

位置彈性大:光柵可以佈局在晶片表面的任何地方,不用侷限在邊緣。

對位容忍度高:容錯率較大,封裝機台的對準難度較低。

劣勢:光學效能較差。耦合損耗較高,且頻寬較窄(通常只能處理單一波段),對極化方向也非常敏感。

EC (邊緣耦合器):從側面直射,贏在「極致的光學效能」

耦合方式:面內耦合 (In-plane)。光纖直接對準晶片的「側面邊緣」,讓光水平地射入波導中。這裡通常會利用SiN (氮化矽)來做模場轉換,讓光訊號在 光纖和 Si 層之間平滑過渡,減少介面反射。

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優勢 (追求極限頻寬的必備):

光學效能輾壓:耦合效率極高 (損耗極低),而且頻寬超寬 (Broadband),可以同時處理 O-band, C-band 等多種波長。

極化不敏感:對光的旋轉狀態容忍度較高,訊號品質更穩定。

劣勢 (製造與測試的夢魘):

無法晶圓級測試:因為光學介面在「側面」,必須等晶圓切割成一顆顆 Die 之後,才能把光纖靠過去測試。如果封裝後才發現是壞晶粒 (Known Bad Die),成本損失極大。

對位要求極端嚴苛:側面面積極小,光纖對位需要次微米等級的精準度,封裝難度與成本大幅飆升。

總結:

GC (光柵耦合)犧牲了一點光學效能,換取了晶圓級測試的便利性與高良率,是目前大規模量產的主流。

EC (邊緣耦合)挑戰了極限的封裝難度,換取了超低損耗與超大頻寬,是未來 400G/800G 以上超高速 CPO 架構的終極目標。

在追求高密度、高良率的 CPO 接收端 (RX) 架構中,GC 陣營目前佔據了極大的系統級優勢。

2.4.1. GC features

在探討 AI 伺服器的 Scale-Up 架構時,「晶片邊緣能塞下多少 I/O 頻寬」是所有系統工程師最頭痛的物理瓶頸。以下拆解 GC 是如何透過空間魔法來解決這個難題:

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC突破一維限制:參考左圖

邊緣耦合 (EC) 只能在晶片側邊排成擁擠的一條線(一維);而 GC 接收由上往下的光,能讓光纖陣列 (FAU) 像蓋大樓一樣疊成「多排的二維矩陣 (Multi-Row)」。

擊敗純電極限: 參考右圖

晶片邊緣空間有限,單排光纖的頻寬密度 (Beachfront Density) 其實贏不過先進的純電互連 (如 UCIe)。但只要利用 GC 疊加上 3 到 4 排光纖,邊緣密度就能直線飆升,輕鬆突破 20 Tbps/mm,徹底解決 AI 運算晶片「資料出不來」的塞車問題。

實務封裝挑戰 (Challenging)

雖然理論完美,但實務上要精準對齊多排光纖與微反射鏡,容錯率極低;加上 AI 晶片運作時的高溫,玻璃光纖與矽晶片之間的「熱膨脹差異」容易導致變形或訊號衰減,是目前封裝製程的一大硬傷。

2.4.2. Two type GC: SPGC and PSGC

GC有兩種光柵耦合器:SPGC(單極化光柵耦合器)和PSGC(極化分離光柵耦合器)。2.1.有提到: “SPGC 接 PMF for ELS;SPGC 接 SMF for TX,PSGC 接 SMF for RX”,這兩種光柵耦合器在系統架構中的完美分工。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

SPGC (單極化光柵耦合器)

效能指標:損耗較低 (~1.3dB),頻寬較窄 (~23nm)。

物理機制:「單行道」(1進1出),結構單純,專門處理單一極化方向 (TE 模) 的光。

系統應用:用於ELS 雷射輸入與TX 訊號發射,負責純淨光束的高效進出。用於ELS 雷射輸入(對接 PMF 保證動力純淨) 以及TX 訊號輸出(對接便宜通用的 SMF 發送訊號)。

PSGC (極化分離光柵耦合器)

效能指標:損耗略高 (~1.9dB),頻寬較寬 (~26nm)。

物理機制:「分流器」(1進2出),結構複雜,能將亂序的雙極化光 (TE+TM) 拆解成兩路獨立的TE模。

系統應用:專用於RX 訊號接收,負責將外部光纖傳來、極化方向已經在長途傳輸中亂掉的訊號精準分離與還原。

2.4.3. RX with EC or GC

當 RX 端用EC時,系統必須在晶片內部建立一套名為「極化分集接收器 (Polarization Diversity Receiver)」的架構處理極化信號:

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EC (邊緣耦合):照單全收

EC 對極化方向不敏感,會將外部 SMF 裡亂序的光 (TE + TM 混合) 毫無耗損地全部導入晶片波導。

光訊號透過層間轉換(Si270-SiN trans,損耗僅0.069 dB),SiN WG垂直「下沉」到下方的Si WG。

PBSR (光學分流與旋轉)元件

這是類似PSGC功能的核心。它負責將混雜的光「分離 (Split)」成上、下兩路,並將其中的 TM 模「旋轉 (Rotate)」成 TE 模。最終產出兩路獨立且純淨的TE光

RX 端使用GC 或 EC 的差異處:

PSGC = EC + Si-SiN trans. + PBSR

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RX 端使用GC 或 EC 的相同處:

雙 PD 轉換 (光轉電)

配置兩顆獨立的光偵測器,分別將這兩路 TE 光轉換成微弱電流

TIA 加總

電子晶片上的 TIA 會將這兩顆 PD 傳來的電流進行「電氣加總」。無論外部光纖的極化怎麼隨機旋轉(導致兩路訊號時強時弱),兩路電流的總和永遠等於原始傳送的總能量,完美還原資料。

3. TSMC PDK

TSMC已經為PIC設計客戶準備好了一整套經過驗證的「矽光子光學元件庫」,讓設計公司可以像拼樂高一樣,直接取用這些標準元件來設計光通訊晶片,大幅降低開發門檻。

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source: ISSCC26 F2-8, TSMC

兩大核心技術亮點

鎖定 O-band (O頻段) 與 涵蓋 Si/SiN 主被動元件:

O-band (約 1310 nm):這是目前資料中心內部短距離、高速光通訊最主流的波段,具有極低的色散特性(Zero CD),非常適合 AI 伺服器機櫃間的高速互連。

Si (矽) 與 SiN (氮化矽) 雙軌並行:純矽波導雖然好做,但在 O-band 傳輸高功率光時容易產生「雙光子吸收 (TPA)」現象導致嚴重損耗。台積電引入了SiN (氮化矽),完美補足了這個缺點。

SiN (氮化矽) 元件的四大優勢:

Lower loss (較低損耗):光在 SiN 中傳輸的衰減比純矽低,適合長距離佈線。

High power endurance (高功率耐受度):能夠承受更高功率的雷射光源輸入而不失真。

Temperature insensitive (溫度不敏感):折射率隨溫度變化的係數較低,這對於發熱量巨大的 AI 晶片 (如 CPO 封裝環境) 來說至關重要,能減少繁雜的溫度控制補償線路。

Lower back-reflection (較低背向反射):減少光信號反彈干擾雷射光源,提升整體系統穩定度。

PDK 標準元件庫拆解

光訊號傳輸與路由 (Routing & Passives): 多為被動元件

WG (Waveguide, 波導):最基礎的光傳輸軌道。

Bend (彎曲波導):讓光轉彎的元件,設計重點在於減少轉彎時的光漏失。

Crossing (交叉波導):讓兩條光路呈十字交叉且互不干擾。

MMI (Multi-Mode Interference, 多模干涉耦合器):常用的分光/合光元件 (例如把一道光均分成兩道)。

Y-junc. (Y型分支器):另一種結構簡單的分光/合光器。

DC (Directional Coupler, 方向耦合器):讓兩條波導靠得很近,使光能量在彼此間轉移耦合。

光纖與晶片的耦合介面 (Coupling Interfaces)

EC (Edge Coupler, 邊緣耦合器):從晶片側面與光纖對接,頻寬大、損耗低,是目前高速傳輸的首選。

SPGC (Single Polarization Grating Coupler, 單極化光柵耦合器):從晶片表面垂直或斜向將光打入/打出。

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PSGC (Polarization Splitting Grating Coupler, 極化分束光柵耦合器):具備分離不同極化光態功能的光柵耦合器

模式轉換與過渡 (Transitions)

Si-SiN trans (矽與氮化矽轉換器):讓光訊號在 Si 層和 SiN 層之間平滑過渡,減少介面反射。

Taper (錐形波導):用來漸進式改變光束的模態大小 (例如把寬光束縮窄進入細波導)

極化管理 (Polarization Management)

PBSR (Polarization Beam Splitter/Rotator, 極化分束旋轉器):處理光波的極化態 (TE/TM 模態),這在提升頻寬的同調光通訊中非常重要

調變與主動控制 (Modulators & Active Controls)

MRM (Micro-Ring Modulator, 微環調變器):體積極小、功耗低的高速調變器,是目前 CPO 架構的當紅炸子雞。

Phase shifter (PS, 相位移相器) / Thermal PS (熱光相位移相器):透過改變電壓或溫度來改變折射率,進而控制光的相位,常應用於馬赫-曾德爾調變器 (MZM) 或光學切換網路。

VOA (Variable Optical Attenuator, 可變光衰減器):動態調節光功率的大小

共振腔與濾波器 (Resonators & Filters)

MRR (Micro-Ring Resonator, 微環共振腔):可作為特定波長的濾波器。

DMRR (Double MRR, 雙微環共振腔):透過雙環設計提供更陡峭、更精準的濾波頻譜

光電偵測與感測 (Detection & Sensing)

PD (Photodiode, 光檢測器):通常是在矽上長鍺 (Ge-on-Si) 來吸收 O-band 的光並轉換為電流。

APD (Avalanche Photodiode, 雪崩光檢測器):具備內部放大效應的高靈敏度光檢測器,可接收微弱光訊號。

Temp sensor (溫度感測器):監控晶片局部溫度,用以回饋給 Thermal PS 或 MRM 進行波長漂移的補償。

Termination (終端器):吸收多餘或反射的光,避免雜散光干擾系統

TSMC透過TMI-SiPh模型,讓設計團隊能在昂貴的下線製造前,精準模擬並預測矽光子晶片的真實物理表現,大幅提高成功的機率:

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source: ISSCC26 F2-8, TSMCPDK 內建自動化與預測功能:

提供光路連線檢查、參數化 API,並能預估真實環境中的「背向反射干擾」與「長時間高溫高功率運作的老化衰退」

電穩態模擬 (找出效能極限):

包含精準模擬傳輸光譜、微環共振腔在輸入高功率光源時產生的「非線性熱偏移 (失真)」,以及決定傳輸速度上限的「-3dB 電光頻寬」

時域動態模擬 (確認訊號品質):

透過通訊領域關鍵的「眼圖 (Eye Diagram)」,確認單一波長或多波長 (WDM) 在連續傳送數位訊號時,訊號是否清晰且無嚴重串擾

這套TMI-SiPh模型,就是讓無晶圓廠 (Fabless) 的設計公司,能夠在真正花費鉅資打樣、下線之前,在 EDA 軟體(如 Synopsys 或 Ansys)裡就能準確預測光訊號的行為,做到「First Time Silicon Success (一次投片即成功)」

4. Nvidia 黑科技

4.1. Optical Path

在矽光子晶片中,用來將電訊號轉成光訊號的調變器 (如 MRM 或 MZM),對光的「極化方向 (Polarization)」極度敏感。在發射端用來提供外部光源 (ELS),傳統上一直被認為只能使用昂貴的PMF保偏光纖:

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非用不可的無奈:

普通光纖 (SMF) 會讓光在彎折時極化方向亂飄、導致訊號失真,因此必須仰賴保極化光纖 (PMF) 鎖定極化方向。

天價成本的來源:

PMF 不只材料本身貴,真正的天價成本在於組裝與對位。圖中從雷射到晶片的 6 個連接點,每一個都需要做極其耗時的「精準對位」。只要有一處角度微偏,光學損耗就會飆升,這會嚴重拖垮產線良率與產能

4.2.創新方案

Nvidia 在IEEE ECTC 2025發表的一篇重磅論文中,徹底顛覆了這個常識,成功用便宜的SMF替代了PMF,將封裝成本降低 2.7 倍。

Nvidia 在2D GC (= PSGC, 極化分束光柵耦合器)的後方,接上了一個被稱為「通用 2x2 干涉儀」—— 也就是兩個串聯的馬赫-曾德爾干涉儀 (MZI),並搭配熱光相位移相器 (Thermal PS) (請參考3. TSMC PDK 元件)。

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這是一個精妙的「雙旋鈕」控制系統,完美解決了兩個隨機變數 (振幅與相位):

第一階段 (能量均分):

微控制器 (MCU) 透過微調第一個Thermal PS,故意製造特定的干涉條件,強迫把原本比例懸殊的光能量,完美地「50/50 均分」到上下兩條臂。

第二階段 (完美對齊):

接著微調第二個Thermal PS,將這兩道能量相等的波,在進入最後一個耦合器時把「相位」完美對齊。

演算法:

韌體不需要懂光學方程式。MCU 只是不斷對這兩個 Thermal PS 施加微小的電壓波動 (Dithering),並監控廢棄端口的漏光電流。

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Case-3 演算法:能量集中

應用目標:將 100% 的雷射能量集中供給單一通道 (TX)。

控制邏輯:演算法將其中一條輸出端 (PL) 設為誤差端,目標函數為「讓 P_L 趨近於零」。透過動態調整加熱器,製造完美的破壞性干涉,迫使所有能量無路可退,只能全數往另一端 (PU) 集中。

Case-4 演算法:精準均分

應用目標:將雷射能量穩定且平均地分配給多個通道 (如圖中後端的 4 組 TX;1推4,high power laser)。

控制邏輯:演算法同時監測兩個輸出端,目標函數改為「讓兩端功率差趨近於零 (|PU- PL| = 0)」。系統會隨時根據前端光纖的擾動,動態鎖定特定的相位差,強迫光束完美 50/50 均分,再交由後端元件繼續分流。

這必須建立在 AI 伺服器高階液冷系統帶來的「恆溫且無震動」環境下,才能讓速度極慢的 Thermal PS 來得及追蹤光纖的偏振變化。

4.3. 成果

這張實體晶片顯微圖,完美展示了前述理論的落地成果:

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PDK 元件實體化:

圖中清楚可見TSMC標準元件,包含兩組串聯的MZI結構、微波導上的金屬加熱器 (Metal Heaters),以及作為 3-dB 耦合器的MMI。

以極小面積換取巨大成本:

整個極化鎖定電路僅佔約 1.3 x 0.5 毫米的微小空間。在寸土寸金的矽晶片上犧牲這點面積,卻能從根本上消滅外部 PMF 光纖高昂的材料與封裝對位成本

極高的商業價值:

對於動輒需要數百萬條光連結的 AI 資料中心而言,這是「硬軟體協同設計」結果,成功用晶片設計解決了物理製造的瓶頸。

根據Nvidia的資訊,成本預估如下:

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總成本大幅降低:傳統使用保極化光纖 (PMF) 的總連接成本,是一般單模光纖 (SMF) 的 2.7 倍。採用新架構直接省下了約 63% 的外部連接費用。

「組裝對位」才是真正錢坑:PMF 昂貴的主因不在線材,而是極度耗時的機械對位。其中「光纖交錯佈線 (Fiber Shuffle)」與「光纖與晶片對接 (FAU)」的成本溢價,分別高達 161% 與 116%。

印證硬軟協同的商業價值:這份數據完美總結了前面的論點:在晶片內犧牲一點點面積,用「微型加熱器與演算法」來抵銷外部昂貴的「物理機械對位」,是極度划算的解法。

5. 結論

從 TSMC 完善的 PDK 元件庫可以看出,矽光子技術正加速從實驗室走向大規模量產的標準化道路 。晶圓代工廠透過精準的 TMI-SiPh 模型與豐富的被動/主動元件庫,為晶片設計公司鋪平了「一次投片即成功」的高速公路 。

然而,真正的系統級突破,往往來自於跨界整合。Nvidia 在2D GC(= PSGC)後方巧妙加入通用 2x2 干涉儀與熱光相位移相器,透過微控制器的演算法動態鎖定相位,成功打破了發射端必須使用PMF保偏光纖的鐵律 。這項在矽晶片上以極小面積換取巨大封裝對位成本的創新,不僅將光學連接的總成本大幅降低了約 63% (省下 2.7 倍的溢價) ,更完美印證了一個事實:在未來的 AI 資料中心裡,從光學物理、封裝製程到演算法的「硬軟體協同設計」,才是突破頻寬與成本框架的終極武器 。

[Reference]

ISSCC26 F2_8, “Silicon Photonics Platform for Next-Generation HPC Technologies”

Nvidia Black Tech

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